高抵抗振动激光发生器
机架采用高刚性材料。比以往提高2倍
XY动作中发挥高稳定性能
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温度变化适应力强的激光发生器
双线性套筒式除振器构造减轻对光路的影响 |
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高精度激光输出可变系统
降低机械机构无效动作
专用软件实现线性输出
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高精度电动Slit
利用显示器画面上的电子线进行位置修正及范围确定，因而实现正确的激光照射。
降低机械机构无效动作，实现具有再现性的线性动作
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图1、输出可变特性
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多功能控制箱
操作者操作必要的全部功能。
通过内存记忆4种加工条件
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高稳定性的激光输出
激光电源中采用PFN方式
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保养性
更换灯源便利性
新设计Tiller采用[HSL-5000]，不用工具实现冷却水及过滤器的更换
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